Что такое SAW пластины и кристаллы
Устройство поверхностных акустических волн (Surface Acoustic Wave, SAW) — это устройство, которое преобразует входной электрический сигнал в акустический сигнал с помощью обратного пьезоэлектрического эффекта или наоборот. Акустическая волна распространяется вдоль поверхности подложки или пластины SAW, и в конечном итоге акустический сигнал преобразуется обратно в электрический сигнал на другом выводе подложки. Устройства SAW находят широкое применение в области радио- и телевещания, мобильной и беспроводной телефонии, спутниковой связи, GPS-системах, системах идентификации (например, электронных метках) и других. Устройства SAW используются в качестве фильтров, генераторов, корреляторов и линий задержки. Особенно в мобильной коммуникационной индустрии устройства SAW являются важнейшими компонентами, определяющими эффективность передачи информации. SAW-устройства продолжают привлекать внимание благодаря своим превосходным функциональным характеристикам в линиях задержки, фильтрах и других устройствах на ультра-, сверхвысоких и микроволновых частотах.
Подложки или пластины SAW являются ключевыми элементами устройства SAW для осуществления преобразования энергии между механической волной и электрическим сигналом. Поскольку скорость SAW очень низкая, обычно удобно дискретизировать сигналы и изменять их, когда сигналы проходят между двумя выводами.
С момента открытия пьезоэлектрических эффектов в кристаллах, таких как кварц и турмалин французскими учёными братьями Кюри в 1880 году, исследования привели к открытию множества новых пьезоэлектрических кристаллов. Однако по разным причинам промышленно массово производятся лишь немногие материалы, в основном кварц, ниобат лития (LiNbO3) и танталат лития (LiTaO3). Кварц обладает отличной температурной стабильностью, но его электромеханический коэффициент связи относительно низок; LiNbO3 имеет высокий электромеханический коэффициент связи, но его отрицательный температурный коэффициент слишком велик; LiTaO3 превосходит LiNbO3 в отношении температурного коэффициента, но его электромеханический коэффициент связи составляет менее четверти от LiNbO3.
Компания Hangzhou Shalom EO имеет богатый опыт в производстве подложек для поверхностных акустических волн и может предложить как стандартные, так и заказные версии SAW пластин. Доступны кристаллы SAW из LiNbO3, LiTaO3, кварца и LGS, заготовки пластин и полированные пластины диаметром до 6 дюймов:
SAW пластинки из LiNbO3 высокого качества:
Технические характеристики кристаллов LiNbO3:
Ориентация кристаллов | X, Y, Z, Y36, Y41, Y49, Y64, Y128, Y135 | Допуск ориентации | ±0,30° |
Диаметр | 2,5", 3", 4" и 6", или по заказу | Длина | 50~100 мм |
Температура Кюри | 1142±3°C | Ориентация первой контрольной плоскости | По требованию ±0,2° |
Длина первой контрольной плоскости | 32±2 мм (4"), 22±2 мм (3"), отшлифована | Вторая контрольная плоскость | По требованию, длина 12±3 мм (4"), 10±3 мм (3") |
Внешний вид | Без трещин, пор, включений |
Технические характеристики пластин LN размером 3”, 4”, 5”, 6”
Технические характеристики пластин LN размером 3”, 4”, 5”, 6” | |||||
Размер пластины | 3” | 4” | 5” | 6” | |
Диаметр (мм) | 76.2 | 100 | 125 | 150 | |
Допуск (±мм) | 0.25 | 0.5 | 0.5 | 0.5 | |
Длина основной контрольной плоскости (мм) | 22 мм или по заказу | 32.5 мм или по заказу | 42.5 мм или по заказу | 57.5 мм или по заказу | |
Угол резки | X, Y, Z, Y36, Y41, Y64, Y49, Y128, Y135 | ||||
Ориентация плоскости | Все доступны | ||||
Тип поверхности | Полировка с одной стороны / с двух сторон | ||||
Шероховатость полированной стороны Ra (нм) | ≤1 | ||||
Критерии для обратной стороны (мкм) | Обычно 0.2-0.5 или по заказу | ||||
Скругление края | Соответствует стандарту SEMI M1.2 / согласно IEC62276 | ||||
Внешний вид | Отсутствие загрязнений | ||||
Частицы диаметром >0.3 мкм: ≤30 | |||||
Отсутствие следов пиления, полос | |||||
Отсутствие царапин | |||||
Отсутствие трещин, «вороньих лапок», следов пиления, напряжений |
Пластины LiTaO3 класса SAW:
Танталат лития — химическое вещество с химической формулой LiTaO3, иногда кратко обозначаемое как LT. Он относится к треугольной системе с искажённой структурой перовскита и точечной группой c63vr3c. Кристаллическая система — уникасальная, и оптические свойства, измеряемые на одном кристалле, являются анизотропными. Анизотропия показателя преломления в видимом диапазоне в основном связана с анизотропией поляризуемости кислорода и удивительно мала. Эти небольшие анизотропии обусловлены тем, что структура LiTaO3 происходит от кубической структуры перовскита. В области промежуточных частот анизотропия структуры вызывает существенно различные динамические свойства решётки и энергетическую структуру, поэтому спектры показателя преломления n и коэффициента экстинкции k сильно различаются для поляризаций, параллельных и перпендикулярных к ферроэлектрической оси c. Получены спектры отражения в оптическом диапазоне 2-35 эВ.
Кристаллы танталата лития обычно бесцветны или имеют светло-жёлто-зелёный оттенок. Кристалл танталата лития (LiTaO3) является отличным многофункциональным материалом с высокой универсальностью. Его основные применения включают Q-переключатели в лазерных технологиях, пирэлектрические детекторы в инфракрасных технологиях, фильтры и резонаторы в электронной промышленности.
Танталат лития особенно подходит для применения в SAW-устройствах. Отполированная пластина LT широко используется при изготовлении резонаторов, фильтров, преобразователей и других устройств электронной связи, особенно благодаря хорошему механическому и электрическому сопряжению, температурному коэффициенту и другим комплексным характеристикам. Он применяется при производстве высокочастотных поверхностных акустических волн, а также во многих передовых областях связи, таких как мобильные телефоны, рации, спутниковая связь, аэрокосмическая промышленность и другие.
Помимо применения в области SAW, кристалл LiTaO3 является оптимальным выбором для пирэлектрических инфракрасных детекторов благодаря своей высокой химической стабильности (нерастворим в воде), высокой точке Кюри выше 600 ℃, низким диэлектрическим потерям и высокой скорости детектирования. Танталат лития также является ферроэлектрическим материалом с спонтанной поляризацией.
Компания Hangzhou Shalom EO предлагает кристаллы и пластины литиевого танталата (LiTaO3) класса SAW. Современное оборудование обеспечивает выращивание кристаллов, резку пластин, лapping, полировку и проверку пластин, при этом вся готовая продукция проходит тестирование температуры Кюри и контроль качества. Кристаллы SAW класса LiTaO3 в виде слитков, заготовок, незаконченных и отполированных пластин доступны по запросу клиента.
Технические характеристики пластин LT 3”, 4”, 6”
Размер пластины | 3” | 4” | 6” |
Диаметр (мм) | 76.2 мм | 100 мм | 150 мм |
Допуск (±мм) | 0.25 | 0.5 | 0.5 |
Основная плоскость (мм) | 22 мм или по заказу | 32.5 мм или по заказу | 57.5 мм или по заказу |
Угол резки | X, Y, Z, Y36, Y42, Y48, X-112Y и др. | ||
Плоскость ориентации | Все доступны | ||
Тип поверхности | Полировка с одной стороны/с обеих сторон | ||
Шероховатость отполированной стороны Ra (нм) | ≤1 | ||
Критерии обратной стороны (мкм) | Обычно 0.2-0.5 или по заказу | ||
Скругление кромок | Соответствует стандарту SEMI M1.2/см. IEC62276 | ||
Внешний вид | Загрязнения: отсутствуют | ||
Частицы Φ>0.3 мкм: ≤30 | |||
Следы от пилы, штрихи: отсутствуют | |||
Царапины: отсутствуют | |||
Трещины, "вороньи лапки", следы пилы, напряжения: отсутствуют |
Кристаллы и пластины кварца (SiO2)
Кварцевый кристалл, химический состав которого SiO2, относится к треугольной кристаллической системе, пространственная группа P3121 или P3221 в зависимости от хиральности. Идеальная форма кристалла — шестигранная призма, оканчивающаяся шестигранными пирамидами с обоих концов. В природных условиях кварцевые кристаллы часто деформированы или так переплетены с соседними кварцевыми или другими минералами, бывают двойниками (право- и левохиральные двойники), что приводит к несовершенной форме идеальной призмы либо отсутствию отчетливых граней и появлению массивной формы.
Кварцевые однокристаллы не обладают пирэлектрическим эффектом и ферроэлектричностью. Температура плавления — 1750℃. Плотность — 2.65×10³ кг/м³, твердость по Моосу — 7. Основные характеристики кварцевого кристалла: хорошая температурная стабильность пьезоэлектрического и диэлектрического коэффициентов, практически не изменяющихся при комнатной температуре; высокая механическая прочность и добротность, высокая жесткость, хорошие динамические свойства; отсутствие пирэлектричности, хорошая изоляция, высокая воспроизводимость. Пьезоэлектрический коэффициент d11 практически не меняется с температурой в диапазоне от 20 до 200 ℃: при увеличении температуры на 1 ℃ он снижается всего на 0.016%.
Кварцевые кристаллы — наиболее представительны и широко применяемы среди пьезоэлектрических кристаллов. Применения включают резонаторы, фильтры, и широко используются в навигации, дистанционном управлении, телеметрии, электронике, автоматическом оружии, сверхзвуковых самолетах, ракетах, ядерном оружии, электронных микроскопах, хронографах, электронных компьютерах, искусственных спутниках Земли и др.
Компания Hangzhou Shalom EO предлагает кварцевые материалы и пластины класса SAW. Современное оборудование позволяет выращивать кристаллы, резать пластины, проводить лapping, полировку и проверку пластин. Вся готовая продукция проходит тестирование и контроль качества. Слитки кварца, заготовки кристаллов, заготовки пластин и отполированные пластины доступны по запросу клиента.
Tags: Что такое SAW пластины и кристаллы