click me!

Что такое SAW пластины и кристаллы

Устройство поверхностных акустических волн (Surface Acoustic Wave, SAW) — это устройство, которое преобразует входной электрический сигнал в акустический сигнал с помощью обратного пьезоэлектрического эффекта или наоборот. Акустическая волна распространяется вдоль поверхности подложки или пластины SAW, и в конечном итоге акустический сигнал преобразуется обратно в электрический сигнал на другом выводе подложки. Устройства SAW находят широкое применение в области радио- и телевещания, мобильной и беспроводной телефонии, спутниковой связи, GPS-системах, системах идентификации (например, электронных метках) и других. Устройства SAW используются в качестве фильтров, генераторов, корреляторов и линий задержки. Особенно в мобильной коммуникационной индустрии устройства SAW являются важнейшими компонентами, определяющими эффективность передачи информации. SAW-устройства продолжают привлекать внимание благодаря своим превосходным функциональным характеристикам в линиях задержки, фильтрах и других устройствах на ультра-, сверхвысоких и микроволновых частотах.

Подложки или пластины SAW являются ключевыми элементами устройства SAW для осуществления преобразования энергии между механической волной и электрическим сигналом. Поскольку скорость SAW очень низкая, обычно удобно дискретизировать сигналы и изменять их, когда сигналы проходят между двумя выводами.

С момента открытия пьезоэлектрических эффектов в кристаллах, таких как кварц и турмалин французскими учёными братьями Кюри в 1880 году, исследования привели к открытию множества новых пьезоэлектрических кристаллов. Однако по разным причинам промышленно массово производятся лишь немногие материалы, в основном кварц, ниобат лития (LiNbO3) и танталат лития (LiTaO3). Кварц обладает отличной температурной стабильностью, но его электромеханический коэффициент связи относительно низок; LiNbO3 имеет высокий электромеханический коэффициент связи, но его отрицательный температурный коэффициент слишком велик; LiTaO3 превосходит LiNbO3 в отношении температурного коэффициента, но его электромеханический коэффициент связи составляет менее четверти от LiNbO3.

Компания Hangzhou Shalom EO имеет богатый опыт в производстве подложек для поверхностных акустических волн и может предложить как стандартные, так и заказные версии SAW пластин. Доступны кристаллы SAW из LiNbO3, LiTaO3, кварца и LGS, заготовки пластин и полированные пластины диаметром до 6 дюймов:

SAW пластинки из LiNbO3 высокого качества:

Кристалл ниобата лития, обозначаемый как LN, относится к тригональной кристаллической системе с искажённой структурой типа перовскита. Искажённый кристалл LiNbO3 обладает множеством свойств, таких как пьезоэлектрические, ферроэлектрические, фотоэлектрические, нелинейно-оптические, термоэлектрические и другие. Пьезоэлектрические коэффициенты кристалла LN достигают высоких значений от 6 до 70 пКл/Н в зависимости от ориентации. Эффективный пьезоэлектрический коэффициент d22 у LiNbO3 почти в 10 раз превышает величину α-кварца (SiO2) (2–3 пКл/Н).
Более того, конкурентоспособность LiNbO3 также проявляется в высоких электромеханических коэффициентах связи. Согласно данным, электромеханические коэффициенты связи при толщинном растяжении (TE) kt для срезов кристалла по направлениям Z и Y/35° составляют примерно 17% и 49% соответственно. Электромеханические коэффициенты связи для режима толщинного сдвига (TS) у X-среза достигают потенциала в 68%, что очень важно для применения в пьезоэлектрических преобразователях.
Компания Hangzhou Shalom EO предлагает SAW-кристаллы и пластины из ниобата лития (LiNbO3) высокого класса. Для выращивания кристаллов, резки пластин, шлифовки, полировки и проверки пластин оборудованы современные производственные мощности. Все готовые изделия проходят тестирование на температуру Кюри и контроль качества (QC).


Технические характеристики кристаллов LiNbO3:

Ориентация кристаллов X, Y, Z, Y36, Y41, Y49, Y64, Y128, Y135 Допуск ориентации ±0,30°
Диаметр 2,5", 3", 4" и 6", или по заказу Длина 50~100 мм
Температура Кюри 1142±3°C Ориентация первой контрольной плоскости По требованию ±0,2°
Длина первой контрольной плоскости 32±2 мм (4"), 22±2 мм (3"), отшлифована Вторая контрольная плоскость По требованию, длина 12±3 мм (4"), 10±3 мм (3")
Внешний вид Без трещин, пор, включений

 

 

Технические характеристики пластин LN размером 3”, 4”, 5”, 6”

Технические характеристики пластин LN размером 3”, 4”, 5”, 6”
Размер пластины 3” 4” 5” 6”
Диаметр (мм) 76.2 100 125 150
Допуск (±мм) 0.25 0.5 0.5 0.5
Длина основной контрольной плоскости (мм) 22 мм или по заказу 32.5 мм или по заказу 42.5 мм или по заказу 57.5 мм или по заказу
Угол резки X, Y, Z, Y36, Y41, Y64, Y49, Y128, Y135
Ориентация плоскости Все доступны
Тип поверхности Полировка с одной стороны / с двух сторон
Шероховатость полированной стороны Ra (нм) ≤1
Критерии для обратной стороны (мкм) Обычно 0.2-0.5 или по заказу
Скругление края Соответствует стандарту SEMI M1.2 / согласно IEC62276
Внешний вид Отсутствие загрязнений
Частицы диаметром >0.3 мкм: ≤30
Отсутствие следов пиления, полос
Отсутствие царапин
Отсутствие трещин, «вороньих лапок», следов пиления, напряжений


Пластины LiTaO3 класса SAW:

Танталат лития — химическое вещество с химической формулой LiTaO3, иногда кратко обозначаемое как LT. Он относится к треугольной системе с искажённой структурой перовскита и точечной группой c63vr3c. Кристаллическая система — уникасальная, и оптические свойства, измеряемые на одном кристалле, являются анизотропными. Анизотропия показателя преломления в видимом диапазоне в основном связана с анизотропией поляризуемости кислорода и удивительно мала. Эти небольшие анизотропии обусловлены тем, что структура LiTaO3 происходит от кубической структуры перовскита. В области промежуточных частот анизотропия структуры вызывает существенно различные динамические свойства решётки и энергетическую структуру, поэтому спектры показателя преломления n и коэффициента экстинкции k сильно различаются для поляризаций, параллельных и перпендикулярных к ферроэлектрической оси c. Получены спектры отражения в оптическом диапазоне 2-35 эВ.

Кристаллы танталата лития обычно бесцветны или имеют светло-жёлто-зелёный оттенок. Кристалл танталата лития (LiTaO3) является отличным многофункциональным материалом с высокой универсальностью. Его основные применения включают Q-переключатели в лазерных технологиях, пирэлектрические детекторы в инфракрасных технологиях, фильтры и резонаторы в электронной промышленности.

Танталат лития особенно подходит для применения в SAW-устройствах. Отполированная пластина LT широко используется при изготовлении резонаторов, фильтров, преобразователей и других устройств электронной связи, особенно благодаря хорошему механическому и электрическому сопряжению, температурному коэффициенту и другим комплексным характеристикам. Он применяется при производстве высокочастотных поверхностных акустических волн, а также во многих передовых областях связи, таких как мобильные телефоны, рации, спутниковая связь, аэрокосмическая промышленность и другие.

Помимо применения в области SAW, кристалл LiTaO3 является оптимальным выбором для пирэлектрических инфракрасных детекторов благодаря своей высокой химической стабильности (нерастворим в воде), высокой точке Кюри выше 600 ℃, низким диэлектрическим потерям и высокой скорости детектирования. Танталат лития также является ферроэлектрическим материалом с спонтанной поляризацией.

Компания Hangzhou Shalom EO предлагает кристаллы и пластины литиевого танталата (LiTaO3) класса SAW. Современное оборудование обеспечивает выращивание кристаллов, резку пластин, лapping, полировку и проверку пластин, при этом вся готовая продукция проходит тестирование температуры Кюри и контроль качества. Кристаллы SAW класса LiTaO3 в виде слитков, заготовок, незаконченных и отполированных пластин доступны по запросу клиента.

 

Технические характеристики пластин LT 3”, 4”, 6”

Размер пластины3”4”6”
Диаметр (мм)76.2 мм100 мм150 мм
Допуск (±мм)0.250.50.5
Основная плоскость (мм)22 мм или по заказу32.5 мм или по заказу57.5 мм или по заказу
Угол резкиX, Y, Z, Y36, Y42, Y48, X-112Y и др.
Плоскость ориентацииВсе доступны
Тип поверхностиПолировка с одной стороны/с обеих сторон
Шероховатость отполированной стороны Ra (нм)≤1
Критерии обратной стороны (мкм)Обычно 0.2-0.5 или по заказу
Скругление кромокСоответствует стандарту SEMI M1.2/см. IEC62276
Внешний видЗагрязнения: отсутствуют
Частицы Φ>0.3 мкм: ≤30
Следы от пилы, штрихи: отсутствуют
Царапины: отсутствуют
Трещины, "вороньи лапки", следы пилы, напряжения: отсутствуют


Кристаллы и пластины кварца (SiO2)

Кварцевый кристалл, химический состав которого SiO2, относится к треугольной кристаллической системе, пространственная группа P3121 или P3221 в зависимости от хиральности. Идеальная форма кристалла — шестигранная призма, оканчивающаяся шестигранными пирамидами с обоих концов. В природных условиях кварцевые кристаллы часто деформированы или так переплетены с соседними кварцевыми или другими минералами, бывают двойниками (право- и левохиральные двойники), что приводит к несовершенной форме идеальной призмы либо отсутствию отчетливых граней и появлению массивной формы.

Кварцевые однокристаллы не обладают пирэлектрическим эффектом и ферроэлектричностью. Температура плавления — 1750℃. Плотность — 2.65×10³ кг/м³, твердость по Моосу — 7. Основные характеристики кварцевого кристалла: хорошая температурная стабильность пьезоэлектрического и диэлектрического коэффициентов, практически не изменяющихся при комнатной температуре; высокая механическая прочность и добротность, высокая жесткость, хорошие динамические свойства; отсутствие пирэлектричности, хорошая изоляция, высокая воспроизводимость. Пьезоэлектрический коэффициент d11 практически не меняется с температурой в диапазоне от 20 до 200 ℃: при увеличении температуры на 1 ℃ он снижается всего на 0.016%.

Кварцевые кристаллы — наиболее представительны и широко применяемы среди пьезоэлектрических кристаллов. Применения включают резонаторы, фильтры, и широко используются в навигации, дистанционном управлении, телеметрии, электронике, автоматическом оружии, сверхзвуковых самолетах, ракетах, ядерном оружии, электронных микроскопах, хронографах, электронных компьютерах, искусственных спутниках Земли и др.

Компания Hangzhou Shalom EO предлагает кварцевые материалы и пластины класса SAW. Современное оборудование позволяет выращивать кристаллы, резать пластины, проводить лapping, полировку и проверку пластин. Вся готовая продукция проходит тестирование и контроль качества. Слитки кварца, заготовки кристаллов, заготовки пластин и отполированные пластины доступны по запросу клиента.

Tags: Что такое SAW пластины и кристаллы